遼寧格物精細化工科技有限公司
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一、環保型12英寸電子級硅片切割專用液產品簡介
我司致力于實現“標新創異”,立足精細化工, 以核心化工科學為基礎,運用聚合、強制乳化技術,開發、制造環保型切割專用液。適用于硅、碳化硅、鍺、砷化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰、釹鐵硼等半導體產品領域,具備優異的分散性、抗剪切性、高附著性、防銹性等特點。研發出的12英寸電子級硅片切割專用液具有優異的抑泡性、防腐防銹性、懸浮性、散熱性、潤濕性、分散性、易清洗等特點,有效控制硅片表面翹曲度、線痕、TTV、崩邊等。本品具有優異的環境友好性,不易燃、不易爆、****、無刺激性。
二、環保型12英寸電子級硅片切割專用液技術參數
項 目 |
GW-P626 |
GW-P628 |
GW-D611 |
外觀(25℃) |
透明或半透明液體 |
透明或半透明液體 |
無色或微黃透明液體 |
pH值(5%水溶液) |
5.0~7.0 |
5.0~7.0 |
5.0~7.0 |
旋轉粘度(25℃), mPa.s |
18~25 |
35~45 |
18~26 |
密度(20℃),g/cm3 |
1.016~1.036 |
1.030~1.050 |
1.105~1.120 |
傾點≥ ℃ |
-20 |
-20 |
-20 |
本品特別適用于12英寸(300mm)大硅片的切割。產品具有優異的散熱性,能有效控制硅片表面翹曲度指標。
三、環保型12英寸電子級硅片切割專用液產品特點
1理化特點:
1)高比熱容、導熱系數、穩定性、安全性;
2)恒定pH 酸堿度、表面張力、切割穩定性;
3)低泡沫性;
4)與韌料良好的配伍性,實現****率、高質量、低成本切割。
5)切割后與硅粉、碳化硅易分離,可實現資源的重復利用。
2性能特點:
1)好的水溶性:不易在設備管道、漿料缸、導輪、硅片上殘留,便于硅片和機臺的清 洗;
2)杰出的抑泡性:具有優異的低泡沫性;
3)良好的防腐防銹性:pH值適中,有效保護切割設備;
4)獨特的懸浮性:有效懸浮碳化硅顆粒,提高切割效率,降低切割消耗;
5)優異的流動性和散熱性:能迅速帶走切割過程中產生的熱量,有效控制硅片翹曲度 指標,保證切割表面質量;
6)優越的潤濕性和分散性:具備高排屑性,能夠快速潤濕硅粉并均勻分散,不易聚 集,切割時對碳化硅顆粒有優異的分散性能,硅片品質均勻;
7)適中的潤滑性:耐高溫,抗剪切,高的承載能力和極壓能力,可在硅片表面形成 保護膜,降低切割阻力,有效抑制硅片表面劃傷;
8)優良的環境友好性:產品成分全部采用環保型材料,不易燃易爆、****性、無 刺激性。